根據新加坡億仕登控股集團(SGX: I07)最新發布的產品訊息,旗下億仕登精密系統(ISDN Precision System)將在2026年台北國際自動化工業大展上,推出兩款針對半導體高階製程的全新產品。這兩項新品——「ApexTwin MFF 雙龍門高速精密平台」與「真空薄型高精密模組」——精準對應了當前設備市場最頭痛的兩個痛點:大尺寸基板的高速穩定運動,以及真空環境下的精密定位與散熱問題。說真的,在自動化展將近千家參展商中,能同時端出這兩道硬菜的,還真不多見。
數據會說話:雙龍門並行如何把產能翻倍?
先來看第一項產品。ApexTwin MFF 最大的技術亮點,在於它捨棄了傳統單龍門架構,改採雙龍門並行設計。這個改變的意義在哪?數據顯示,它能夠在同一時間軸上同時執行兩組不同的製程循環,等於直接把設備的運行效率往上推了一個台階。
但雙龍門架構的挑戰從來不在「動起來」,而在「動得準」。億仕登在這套平台上整合了自家研發的線性馬達,並搭配以色列高階運動控制器,形成一套雙驅動架構。根據官方提供的規格,這套系統展現了六軸同步控制能力,整定表現達到 50ms @ 0.1mm in ± 300nm。
什麼概念?在後段封裝製程中,300奈米的定位精度,已經是逼近物理極限的等級。而50毫秒的整定時間,代表設備能在極短時間內完成定位並進入下一道工序,這對於追求每小時產出顆數(UPH)的半導體廠來說,是直接影響成本結構的關鍵數字。
此外,振動控制也被納入設計藍圖中。ApexTwin 搭配了倉敷化工(KURASHIKI KAKO)Type-C 主動式除振台,用以過濾來自外界環境的低頻振動。這項配置其實透露了一個重要訊息:在半導體先進製程中,環境微振動已經不再是「干擾」,而是必須被「主動消弭」的製程變數。
33mm的極限壓縮:真空薄型模組的設計思維
如果說ApexTwin 解決的是「面積」問題,那第二項新品「真空薄型高精密模組」解決的就是「體積」與「環境」的雙重難題。
這款模組針對半導體及醫療等真空製程設備開發,單軸最薄僅33mm。這個數字在自動化設備領域代表什麼?代表它可以被塞進過去馬達模組根本進不去的狹窄安裝空間,例如晶圓檢測對位、晶圓研磨前精密對位,甚至是醫療植體真空鍍膜的精密對位應用。
但薄型化從來不是最難的,難的是在真空環境下維持穩定運作。由於真空狀態下缺乏空氣對流,運動元件運行時產生的熱能無法靠傳統風扇排除,熱管理成了影響設備長期穩定性的最大殺手。
據億仕登的技術資料顯示,這款新模組將線性馬達的散熱技術直接導入設計中,試圖在有限的散熱條件下維持穩定的運作表現。換句話說,這不是單純把馬達壓扁,而是重新思考了在真空環境中,精密定位模組該有的熱力學架構。
編輯觀點:從這兩項產品可以清楚看到,億仕登的策略已經從「提供運動控制元件」轉向「提供高整合度的製程模組化解決方案」。這不是一個容易的路徑,因為模組化意味著必須同時掌握線性馬達、運動控制、振動抑制、熱管理等多重技術節點。但對於台灣半導體設備商來說,這類國產高階模組的出現,確實提供了更多元的供應鏈選擇。話說回來,要在先進封裝這條路上不被國際大廠卡脖子,設備零組件的自主化,終究是必須走的一步。
從元件到平台:億仕登的技術路徑與市場定位
攤開億仕登的產品布局,這家公司並非橫空出世的新玩家。母公司新加坡億仕登控股集團自1987年成立至今,在工業自動化領域已經累積近40年的實戰經驗,旗下近百家的子公司網絡遍布亞洲,服務過的客戶超過萬家。
而在台灣,億仕登精密系統專注於線性馬達與高精密平台的研發與生產。這次推出的兩款新品,恰好勾勒出該公司在技術上的兩條主軸線:一條是「大尺寸、高速穩定運動」,對應的是先進封裝製程中不斷放大的基板尺寸;另一條是「真空、薄型化精密定位」,瞄準的是半導體前後段製程中,那些空間有限、環境嚴苛的特殊應用場景。
根據官方說法,億仕登此次推出的新品延續了以線性馬達為核心的技術路線,並進一步整合了運動控制、除振及機電整合等周邊技術,為設備商提供從核心運動元件到完整精密平台的產品選擇。
從產業面來看,這套布局策略有它的市場脈絡。半導體設備的國產化趨勢在近幾年明顯加速,尤其是先進封裝領域,由於製程變異性大、設備客製化需求高,給了具備快速反應能力的區域型供應商不少切入空間。億仕登選擇在這個時候推出整合度更高的平台級產品,時機算抓得相當精準。
數據背後的啟示
從這兩項新品的規格與設計邏輯來看,背後其實藏著幾個值得設備業者深思的趨勢。
第一,先進封裝正在重新定義「精密平台」的規格邊界。當基板尺寸持續放大、製程精度要求不斷收緊,傳統單龍門架構已經難以兼顧速度與精度的雙重要求。雙龍門並行設計的出現,與其說是技術創新,不如說是市場需求倒逼出來的必然結果。
第二,真空環境下的運動控制,已經從「選配」變成「標配」技術。隨著半導體製程不斷往更先進節點推進,真空環境在更多製程環節中成為必要條件。能夠在真空條件下解決散熱與定位問題的模組供應商,將在這波設備升級浪潮中佔有關鍵位置。
根據國際半導體產業協會(SEMI)的統計,全球半導體設備市場在2026年仍維持溫和成長的態勢,其中先進封裝相關設備的成長率又高於產業平均。對台灣設備業者來說,這不只是市場機會,更是一個重新檢視自身供應鏈韌性的時刻。
億仕登這兩款新品選擇在台北國際自動化工業大展首度亮相,時間點正好落在半導體產業下半年傳統旺季的前哨站。在景氣循環與技術轉型的交會點上,精密運動控制這門老技術,顯然正在長出一些新模樣。
給產業同仁的行動建議:如果你正在評估先進封裝或真空製程設備的運動控制方案,8月19日至22日可以走一趟南港展覽館一館1F的K628攤位。與其看規格表上的數字,不如直接到現場看實際動態展示,並與技術團隊討論你的具體應用情境。記得帶著你的製程參數去,那才是評估這類高階平台是否適用的唯一標準。
本文改寫整理自公開新聞來源,原始報導由科技新報發布。
常見問題 FAQ
ApexTwin 雙龍門平台適合應用在哪類製程設備?
專為後段先進封裝製程開發,特別適合需要大尺寸基板高速運動、同時要求極高定位精度的設備,例如晶圓級封裝、扇出型封裝等應用。
真空薄型模組的33mm厚度是否包含馬達本體?
是的,33mm是單軸模組的完整厚度,包含線性馬達本體與精密定位機構,可直接整合進入設備內部有限空間中運作。
這兩項新品何時可以開始供貨?
根據官方資訊,產品已進入量產準備階段,實際供貨時程與規格客製需求,建議直接於展會期間與技術團隊洽談。
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