突破性檢測技術問世
韓國檢測設備大廠SEC近日宣布,成功開發出採用X光技術的自動化線上檢測系統「Semi-Scan-SW」,專門針對高頻寬記憶體(HBM)生產線與玻璃基板TGV製程。這項突破性技術可偵測3至5微米的微小缺陷,預計將於2026年SSPA展覽中正式亮相。
非破壞性檢測優勢
相較於傳統光學檢測設備,X光技術最大的優勢在於能進行非破壞性的晶片內部檢測。SEC技術團隊指出:「這套系統不僅適用於HBM堆疊製程,還能支援晶圓級封裝(WLP)鍵合製程的品質把關。」目前該公司已著手向主要HBM製造商提供評估樣品,進行內部Alpha測試。
「我們預期這項技術將拓展至晶圓代工廠與封裝測試廠,成為產業新標準。」SEC發言人表示。
SEC技術發展歷程
成立於2000年的SEC,自2002年起便專注於X光檢測設備研發,其核心技術包括:
- 2006年實現工業用X光產生器商業化
- 從SMT領域逐步拓展至半導體、車用電子等高端應用
- 去年取得HBM專用X光線上檢測技術專利
除半導體檢測設備外,SEC同時開發電子束玻璃基板鑽孔設備、醫療用癌症治療裝置等多元產品線,展現其技術整合能力。
市場布局與未來展望
根據SEC規劃,產品驗證將分三階段進行:
- 內部Alpha測試(2026年3月啟動)
- 客戶端Beta測試
- 最終產品驗證
業界分析指出,隨著HBM需求持續成長,這類高精度檢測設備將成為先進封裝製程的關鍵環節。SEC此舉可望在快速擴張的記憶體市場中取得技術領先優勢。
常見問題 FAQ
Semi-Scan-SW系統的主要應用領域為何?
主要針對高頻寬記憶體(HBM)生產線與玻璃基板TGV製程,可進行晶圓級封裝製程的品質檢測。
X光檢測技術與傳統光學檢測有何不同?
X光技術能進行非破壞性的晶片內部檢測,可偵測3至5微米的微小缺陷,這是光學檢測難以達到的精度。
SEC預計何時正式推出這項產品?
計劃在2026年Smart SMT & PCB Assembly展覽中首次公開展示,目前正進行內部測試階段。
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